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FMA3100系列美國OMEGA質(zhì)量流量傳感器代表著質(zhì)量流量傳感器技術領域的突破。先進的電子器件、緊湊的機械設計以及批量生產(chǎn)加工理念在這一高性能、低成本的產(chǎn)品中集中體現(xiàn)。氣體流量傳感器適合多種OEM應用。0 ~ 5 Vdc線性輸出作為標準輸出信號。
FMA3200質(zhì)量流量控制器外形小巧,它利用基本的FMA3100熱式質(zhì)量流量傳感器提供精que、穩(wěn)定的氣體流量控制。在斷電模式下,流量控制閥關閉,同時泄漏率zui低。這種具成本效益的控制器是眾多OEM應用的理想之選,它提供0 ~ 5 Vdc線性輸出并接收0 ~ 5 Vdc的控制輸入。
FMA3300在FMA3100流量計功能的基礎上增加了一個可調(diào)節(jié)3位半數(shù)字LCD數(shù)字顯示儀表,用于查看以工程單位(即mL/min或L/min)顯示的流量。已經(jīng)證實,這些緊湊型流量計在很多實驗室應用中效果顯著。
規(guī)格:
輸出:0 ~ 5 Vdc(zui小值2500 ?)
輸入設定電壓(僅FMA3200):0 ~ 5 Vdc
精度:滿量程的±1.5%*
重復性:滿量程的±0.5%
響應時間:在滿量程的25 ~ 100%范圍大約2秒(常規(guī))達到設定流速的±2%內(nèi)
工作環(huán)境:10 ~ 50°C (50 ~ 122°F),無冷凝空氣
工作壓力范圍:25°C (77°F)時達到zui大值150 psi
溫度系數(shù):每°C為±0.2%
壓力系數(shù):每psi為±0.02%
泄漏完整性:對于外界環(huán)境,zui大值為1x10-4SCCS氦氣
輸入電源:
FMA3100和FMA3300:12 ~ 15 Vdc,100 mA (1.5 W)
FMA3200:12 ~ 15 Vdc,250 mA (3.75 W)
連接口:流速達到1 L/min時,采用?"壓合接頭;流速達到5 L/min時,采用?" 壓合接頭;流速達到10 L/min時,采用?"壓合接頭
接液材質(zhì):陽極氧化鋁、氟橡膠O形圈、304和316不銹鋼、環(huán)氧樹脂、乙縮醛壓合管接頭(標配)
量程比:10:1
氣體:大部分潔凈、干燥氣體(例如,空氣、氮氣、二氧化碳、氬氣、氫氣、氦氣、甲烷、氧氣)
過濾:如果氣體中含有任何顆粒物質(zhì),需要使用20微米過濾器
規(guī)格(FMA3200流量控制器)
壓差:15 ~ 40 psi
閥門工作壽命:>1百萬次循環(huán);閥門處于常閉狀態(tài)
控制量程:50:1
遠程設定電壓:0 ~ 5 Vdc
重量:
FMA3100:199 g (0.44 lb)
FMA3300:249 g (0.55 lb)
FMA3200:386 g (0.85 lb)
不帶接頭的尺寸(近似值):
FMA3100:47(長)x 26(寬)x 90 mm(高)(1.87 x 1.03 x 3.55")
FMA3300:47(長)x 26(寬)x 127 mm(高)(1.87 x 1.03 x 5.0")
FMA3200:81(長)x 26(寬)x 97 mm(高)(3.17 x 1.03 x 3.80")
* 一般規(guī)格下的標定精度在下列情況下有效:
1. 溫度范圍18 ~ 25°C (64 ~ 77°F)
2. 暖機時間:至少10分鐘
3. 穩(wěn)定的電源輸入電壓(12V ±0.1V)(常規(guī))
4. 線性度:在zui高500 SCCM流量范圍內(nèi)時,增加±0.5%, 超過500 SCCM時,增加±1.0%
5. 精度范圍:10 ~ 100%
6. 對于FMA3100和FMA3300,管路壓力為1 ~ 30 psi,對于FMA3200,為廠家指定的設置
7. 使用(指定的)工廠用氣體
FMA3100系列OMEGA流量計訂貨信息:
不帶顯示屏 |
帶顯示屏 |
流量** |
zui大流量 |
FMA3101 |
FMA3301 |
0~20SCCM |
1"水柱 |
FMA3102 |
FMA3302 |
0~50SCCM |
|
FMA3103 |
FMA3303 |
0~100SCCM |
2"水柱 |
FMA3104 |
FMA3304 |
0~200SCCM |
|
FMA3105 |
FMA3305 |
0~500SCCM |
|
FMA3106 |
FMA3306 |
0~1SLM |
3"水柱 |
FMA3107 |
FMA3307 |
0~2SLM |
|
FMA3108 |
FMA3308 |
0~5SLM |
|
FMA3109 |
FMA3309 |
0~10SLM |
10"水柱 |
配備操作手冊和0.6 m (24")信號/電源電纜(僅與下面的電源兼容)。
如需4測量點NIST校準證書,請將后綴“-NISTAIR”添加到型號中(需付額外費用)。
訂購示例:FMA3307,帶顯示屏的0 ~ 2000 SCCM流量計和FMA3115PW,電源/輸出信號電纜。
按單生產(chǎn)
控制器(不帶顯示屏) |
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型號 |
流速** |
zui大流速時的壓降 |
FMA3202-(*) |
0~50SCCM |
15psi |
FMA3203-(*) |
0~100SCCM |
|
FMA3204-(*) |
0~500SCCM |
|
FMA3205-(*) |
0~5SLM |
|
FMA3206-(*) |
0~10SLM |
* 指定氣體、入口/出口壓力和溫度
** 流量范圍以干燥空氣或氮氣為基準;還提供其它氣體(二氧化碳、氦氣、氬氣、氫氣、甲烷、氧氣)的范圍(需付額外費用)。
如需可選4測量點NIST校準證書,請將后綴“-NISTAIR”添加到型號中(需付額外費用)。
訂購示例:FMA3203-(氦氣,20/0 psig,70°F),0 ~ 100 SCCM流量控制器和FMA3215PW,電源/輸出信號電纜。
配件:
流量計:FMA3100和FMA3300系列 |
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型號 |
說明 |
FMA3115PW |
電源/輸出信號電纜(0~5Vdc),115Vac |
FMA3230PW |
電源/輸出信號電纜(0~5Vdc),230Vac |
僅控制器:FMA3200系列 |
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FMA3215PW |
電源/輸入信號/輸出信號電纜(0~5Vdc),115Vac |
FMA3223PW |
電源/輸入信號/輸出信號電纜(0~5Vdc),230Vac |
FMA3100/3200/3300系列流量計用電纜 |
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FMA3000C |
帶插接式接頭和露端頭的1m(3')電纜,與具有端子連接口的電源配合使用 |